荧光分析X射线管管压和管电流的选择原则与在波长色散光谱仪中的不同，所用管压通常比待测元素的激发电位高3～5kev,而在波长色散光谱仪中要比激发电位大4～10倍，同时管电流一般均较小，它受能量色散光谱仪所允许的最大计数率(5～30kcps)的限制。基于此，视待分析元素对象不仅要设置不同的管压和管电流，还要与滤光片结合起来考虑，其原则是保证所测元素获得最大强度。如用Si-PIN探测器的谱仪，以Rh靶作为激发光源，分析水泥中镁、铝、硅、硫和钾时，选择4kv,0.6mA,其目的是使高含量钙不被激发，而测钙、钛和铁时，选择13kv,0.lmA，并选用200pm铝作滤光片，除去X射线管发射的RHL_线，以便降低铝、硅等元素的X射线荧光强度，从而提高钙和铁等元素的X射线荧光强度。选择二次靶和偏振光也是为了进行有选择的激发，并降低背景。

　　不同元素发出的特征X射线能量和波长各不相同，因此通过对荧光分析X射线管发出射线的能量或者波长的测量即可知道它是何种元素发出的，进行元素的定性分析。同时样品受激发后发射某一元素的特征X射线强度跟这元素在样品中的含量有关，因此测出它的强度就能进行元素的定量分析。因此，X射线荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型（WDEXRF）和能量色散型（EDXRF）。

　　质子X射线荧光分析技术由于能够在非真空条件下分析含量少、浓度低的元素，并且一次可同时分析多种元素，灵敏度高，随原子序数增大不会发生突变，属于可以定量和定标的非破坏性快速分析技术，在环境污染的监测、生物和医学样品的分析、考古研究及超重元素探测等方面都发挥了重要的作用。