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衍射仪是进行X射线分析的重要设备,主要由X射线发生器、测角仪、记录仪和水冷却系统组成。新型的衍射仪还带有条件输入和数据处理系统。
X射线发生器由高压变压器及管流管压控制单元、结构分析X射线管、热交换器。
产生高稳定的高压加到X射线管上用以产生X射线。这里利用高电压加速的高速电子轰击X射线管金属靶面产生X射线的原理。
样品进给器,是样品进入真空系统的一个过渡。因为荧光X射线在空气中会被衰减,所以样品分析需要在真空环境下进行。这样,试样就需要从大气状态进入真空环境。 X射线管的实质是个真空二极管,其阴极是钨丝,阳极为金属片。在阴极两端加上电流之后,钨丝发热,产生热辐射电子。这些电子在高压电场作用下被加速,轰击阳极(又称靶),产生X射线(此过程产生大量热量,为了保护靶材,须确保循环水系统工作正常)。
样品室连接样品进给器和分析室,与二者一起组成真空腔。样品在样品室里完成样品的升举、下降、样品交换和自旋。
滤片的作用是消除可能提高背景或对某些元素产生迭谱干扰的特征谱线,从而提高对这些元素分析的灵敏度。滤波片采用K吸收缘介于元素的Kα和Kβ的波长之间的材料制成。
由于来自X光管的X射线不仅照射到分析样品上,也会照射到样品盒及样品罩上。而产生来自样品盒或罩上的不需要的荧光射线,从而影响分析精度,因此使用了光阑系统来保证只允许来自分析样品的荧光X射线进入计数器。
来自样品的荧光X射线和散射线都不是单一方向的,入射狭缝装在样品和分光晶体之间,它只允许指向分光晶体方向的荧光X射线通过,而吸收其它方向的射线,从而提高了光谱分辨率。
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